英國(guó)Spicer 主動(dòng)式消磁系統(tǒng)
SC22
名稱:電鏡屏蔽/主動(dòng)消磁系統(tǒng)
型號(hào):SC22
品牌:英國(guó)SpicerConsulting 產(chǎn)地:英國(guó)
產(chǎn)品參數(shù)
通過(guò)穩(wěn)定磁場(chǎng)環(huán)境確保您購(gòu)置的電子束科技設(shè)備應(yīng)有性能,消除和監(jiān)測(cè)交流磁場(chǎng)。
1、自動(dòng)運(yùn)行,連續(xù)實(shí)時(shí)補(bǔ)償磁場(chǎng),交流磁場(chǎng)可消除范圍:0.5Hz to 5 kHz;市電50Hz的交流背景磁場(chǎng)可被改善50倍。
2、完整的X,Y, Z三軸消磁系統(tǒng),可消除場(chǎng)強(qiáng)高達(dá)60mG (6.0 μT) pk-pk,磁場(chǎng)躍變響應(yīng)速度:100μs以內(nèi)
3、智能用戶界面
顯示系統(tǒng)需為3.5英寸以上LCD TFT 彩色面板,其參數(shù)設(shè)定及操作皆為微電腦控制,當(dāng)X&Y&Z軸磁場(chǎng)檢出<RMS250uG RMS 時(shí)OK綠色指示燈會(huì)亮
4、高靈敏度傳感器,可精確反饋環(huán)境磁場(chǎng)變化;支持雙傳感器,用于抵消TEM透射電鏡和高突變環(huán)境磁場(chǎng)。
5、USB監(jiān)控端口,本設(shè)備為免校正儀器,其內(nèi)部的自我歸零功能會(huì)自動(dòng)校正,低成本高性能系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn)
當(dāng)今高精電子束設(shè)備對(duì)環(huán)境磁場(chǎng)及其動(dòng)態(tài)變化是非常敏感的。環(huán)境磁場(chǎng)使電子束產(chǎn)生偏移,從而導(dǎo)致設(shè)備分辨率和測(cè)量精度的減低。SC22系統(tǒng)是一種三維空間內(nèi)的交流磁場(chǎng)補(bǔ)償系統(tǒng),通過(guò)傳感器感知空間環(huán)境中交流磁場(chǎng)及其變化量,控制器通過(guò)三維空間線圈來(lái)提供反磁場(chǎng),抵消環(huán)境磁場(chǎng)給電子束設(shè)備帶來(lái)的影響,恢復(fù)應(yīng)有的分辨率和精度。
SC24
品名:電鏡屏蔽/主動(dòng)消磁系統(tǒng)
型號(hào):SC24
品牌:英國(guó)SpicerConsulting
產(chǎn)地:英國(guó)
產(chǎn)品參數(shù)
1、通過(guò)穩(wěn)定磁場(chǎng)環(huán)境確保您購(gòu)置的電子束科技設(shè)備應(yīng)有性能 ,消除和監(jiān)測(cè)交流磁場(chǎng)
2、自動(dòng)運(yùn)行,連續(xù)實(shí)時(shí)補(bǔ)償磁場(chǎng),交流磁場(chǎng)可消除范圍:0.5Hz to 5 kHz;市電50Hz的交流背景磁場(chǎng)可被改善50倍
3、完整的X,Y, Z三軸消磁系統(tǒng),可消除場(chǎng)強(qiáng)高達(dá)60mG (6.0 μT) pk-pk,磁場(chǎng)躍變響應(yīng)速度:100μs以內(nèi)
4、智能用戶界面,顯示系統(tǒng)需為3.5英寸以上LCD TFT 彩色面板,其參數(shù)設(shè)定及操作皆為微電腦控制,可同時(shí)顯示AC和DC磁場(chǎng)值,單位可選高斯或者特斯拉,當(dāng)X&Y&Z軸磁場(chǎng)檢出<RMS250uG RMS 時(shí)OK綠色指示燈會(huì)亮
5、高靈敏度傳感器,可精確反饋環(huán)境磁場(chǎng)變化;支持雙傳感器,用于抵消TEM透射電鏡和高突變環(huán)境磁場(chǎng)
6、USB監(jiān)控端口,本設(shè)備為免校正儀器,其內(nèi)部的自我歸零功能會(huì)自動(dòng)校正,低成本高性能系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn)
當(dāng)今高精電子束設(shè)備對(duì)環(huán)境磁場(chǎng)及其動(dòng)態(tài)變化是非常敏感的。環(huán)境磁場(chǎng)使電子束產(chǎn)生偏移,從而導(dǎo)致設(shè)備分辨率和測(cè)量精度的減低。SC24系統(tǒng)是一種三維空間內(nèi)的交流磁場(chǎng)補(bǔ)償系統(tǒng),通過(guò)傳感器感知空間環(huán)境中交流磁場(chǎng)及其變化量,控制器通過(guò)三維空間線圈來(lái)提供反磁場(chǎng),抵消環(huán)境磁場(chǎng)給電子束設(shè)備帶來(lái)的影響,恢復(fù)應(yīng)有的分辨率和精度。
SC26
品名:電鏡屏蔽/主動(dòng)消磁系統(tǒng)
型號(hào):SC26
品牌:英國(guó)SpicerConsulting
產(chǎn)地:英國(guó)
產(chǎn)品參數(shù)
晶片傳輸機(jī)器人在300 mm的晶片中活動(dòng),會(huì)產(chǎn)生9 KHz的磁場(chǎng),會(huì)限制電子束的性能,以及下一個(gè)半導(dǎo)體CD節(jié)點(diǎn)。SC26是一種寬帶消磁系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)從DC到9 KHz以上范圍的磁場(chǎng)消除。為了實(shí)現(xiàn)寬帶消磁,SC26采用低電感場(chǎng)消除電纜,安裝在電子束工具附件中。
SC26具有2個(gè)200 KHz的AC磁場(chǎng)傳感器(藍(lán)色),可以耦合,優(yōu)化電子束性能,對(duì)于低至10 Hz的磁場(chǎng)具有良好效果。也可以用于DC磁場(chǎng)消除,只需每個(gè)通道添加一個(gè)SC24/DC+AC傳感器和一個(gè)傳感組合器。
SC26并不像SC24那樣安裝使用,不能用粗線纜構(gòu)建一個(gè)房子結(jié)構(gòu),從而獲得較低的磁場(chǎng)。
在電子束300 mm的范圍內(nèi)獲得良好的消磁效果,實(shí)時(shí)、寬帶消磁,從DC到9 KHz以上磁場(chǎng),磁場(chǎng)躍變響應(yīng)速度:10μs以內(nèi)
通過(guò)穩(wěn)定磁場(chǎng)環(huán)境確保您購(gòu)置的電子束科技設(shè)備應(yīng)有性能,消除和監(jiān)測(cè)交流磁場(chǎng)。
1、自動(dòng)運(yùn)行,連續(xù)實(shí)時(shí)補(bǔ)償磁場(chǎng)
2、完整的X, Y, Z三軸消磁系統(tǒng)??上龍?chǎng)強(qiáng)高達(dá)60mG (6.0 μT) pk-pk智能用戶界面,顯示系統(tǒng)需為3.5英寸以上LCD TFT 彩色面板,其參數(shù)設(shè)定及操作皆為微電腦控制,可同時(shí)顯示AC和DC磁場(chǎng)值,單位可選高斯或者特斯拉,當(dāng)X&Y&Z軸磁場(chǎng)檢出<RMS250uG RMS 時(shí)OK綠色指示燈會(huì)亮
3、高靈敏度傳感器,可精確反饋環(huán)境磁場(chǎng)變化;支持雙傳感器,用于抵消TEM透射電鏡和高突變環(huán)境磁場(chǎng)
4、USB監(jiān)控端口。本設(shè)備為免校正儀器,其內(nèi)部的自我歸零功能會(huì)自動(dòng)校正,低成本高性能系統(tǒng)。